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本仕様は，装置メーカーが装置構成および関連要素をモデル化する際に使用される構造に共通なものの一揃えを提供する。
SEMI F96 — Specification for Port Configuration on Canisters to Contain Liquid CVD Precursors
9-0997 (technical revision)
本スタンダードは，global Photovoltaic Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年12月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年2月にwww
Bulk Wet Chemicals ElnTpc-Purdue 本仕様は，装置メーカーが装置構成および関連要素をモデル化する際に使用される構造に共通なものの一揃えを提供する。A comprehensive review of the global markets (by region) and suppliers of the 7 largest bulk process chemicals used in the semiconductor industry. 5 year forecasts are included. Published annually, provided in PPT and EXCEL formats.
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